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真空通常由抽气机获得，其气体稀薄度用真空计测量。利用分子和扩散式气体抽提器可以获得大气压为1×10-14pa的高真空度。真空技术广泛应用于芯片制造、太阳能电池制造、光学薄膜制造、电真空仪器、电子管等电子仪器中。
Pfeiffer普发 HiPace 1500U涡轮分子泵维修，Pfeiffer HiPace 1500U普发涡轮分子泵进气法兰口DN250 ISO-F/DN250 ISO-K/DN250 CF-F，出气法兰口DN40 ISO-KF，抽速可达到1100L/s - 1450 L/s，转速为37800rpm，极限压力1X10-8 mbar，对应的控制器为：Pfeiffer TC1200等。
干式螺旋真空泵是一种较新的阿特拉斯真空泵系列下的设备，具有可靠性高、寿命长、动平衡性能好、适应性强、多相混输等特点。它能去除腐蚀性、有毒、含尘气体和可冷凝蒸汽等气体。干泵有着广泛的应用，包括半导体工业、化学工业、薄膜工业等，这三个行业的需求是推动干式泵市场的主要动力。在欧美半导体行业，约有一半的企业采用干式真空泵代替油封式机械泵。我国半导体行业主要采用进口干式泵。因此，应加强国产干式真空泵的研发，使之成为我国真空行业新的经济增长点。
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什么是真空泵？
真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲的是，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中来改善、产生和维持真空的装置。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。
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排除旋片真空泵的常见问题对我们的使用很有帮助，本文给大家汇总一些旋片真空泵的故障问题及解决方法。
1、首先要了解旋片真空泵的类型、特点、现在状况。了解使用要求，确定修理目标。在进行维修之前，准备好检测手段。
2、判断故障，确诊故障。判断准，可省事。确诊要验证。
3、排除故障，先简后繁，先易后难。无须拆卸的不拆。以减少由于缺少zhaung用工具和操作不当引起新的损伤，减少位置变化和跑合运转时间。一般的说，拼接式转子是不可拆卸的，否则形位公差就不保，转子就报废了。
4、有毒有害，有腐蚀性的泵，应请用户xian行清洗，关告知必要的防护措施，以保障维修人员的健康。
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进口真空泵维修之返油：
进口真空泵返油可能是以下原因：
1、冷却水路不通畅或水压不够，导致冷却能力下降，进口真空泵上半部分变热，油蒸汽不能良好液化。解决办法将莱宝进口真空泵进水管接以4mpa的气源，吹出水垢，接出水管同样以4mpa吹。若水垢结的很多并且牢固，可通入稀盐酸。或者更换进口真空泵。
2、加热温度过高，由于进口真空泵加热器功率与额定功率不符，过高，造成蒸汽量大，可造成返油，更换电炉丝可解决。
Pfeiffer TC750德国普发分子泵电源维修，pfeiffer TC750分子泵电源的原理为:将对应24V或48V或72V or 140V直流电，转换为对应PWM电压来驱动分子泵线圈，TC750可以和Pfeiffer DCU进行通信，控制分子泵转速等。Pfeiffer TC750能控制Pfeiffer TMH1001，Pfeiffer TMH1601， TMH2301等
进口真空泵的性能参数介绍:
1、何氏系数
泵抽气通道面积上的实际抽速与该处按分子泻流计算的理论抽速之比。
2、抽速系数
进口真空泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。
3、返流率
泵的返流率单位是g/cm2.s.它是指泵按规定条件工作时，通过泵入口单位面积的泵流质量流率。
4、水蒸气允许量
水蒸气的允许量单位是kg/h，它是指进口真空泵在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。
5、ZUI大允许水蒸气入口压强
ZUI大允许水蒸气入口压强单位是Pa.它是指在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的ZUI高入口压强。
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